Vào cuối thế kỷ XIX, vùng đất mà nay là hai xã Hà Châu và Nga My được tách khỏi huyện Hiệp Hòa, phủ Bắc Hà, tỉnh Bắc Ninh để sáp nhập vào huyện Tư Nông, phủ Phú Bình, tỉnh Thái Nguyên.

Sau năm 1945, huyện Tư Nông đổi tên thành huyện Phú Bình, xã Hà Châu thuộc huyện Phú Bình như hiện nay.